Charakteristikos:

1) Nitridinimo greitis yra didesnis, nitridavimo ciklą galima atitinkamai sutrumpinti, o joninio nitridavimo laiką galima sutrumpinti iki 1/3–2/3 dujų nitridavimo laiko.

2) Nitrido sluoksnio trapumas yra mažas, o plazminio nitrido paviršiuje susidaręs baltas sluoksnis yra labai plonas arba jo visai nėra. Be to, nitrido sluoksnio sukeliama deformacija yra maža, todėl tai ypač tinka sudėtingų formų tikslioms detalėms.

3) Galima sutaupyti energijos ir amoniako. Elektros energijos suvartojimas sudaro 1/2–1/5 dujų azotinimo, o amoniako suvartojimas – 1/5–1/20 dujų azotinimo.

4) Vietinį nitrinimą lengva įgyvendinti, jei dalis, kuriai nereikia nitrinimo, nesukuria švytėjimo, nenitrinamą dalį lengva apsaugoti, o švytėjimą galima apsaugoti mechaniniu ekranavimu ir geležine plokšte.

5) Jonų bombardavimas gali automatiškai išvalyti paviršių ir pašalinti pasyvavimo plėvelę. Nerūdijantį plieną ir karščiui atsparų plieną galima tiesiogiai azotinti, prieš tai nepašalinant pasyvavimo plėvelės.

6) Galima kontroliuoti sudėtinio sluoksnio struktūrą, infiltracinio sluoksnio storį ir struktūrą.

7) Apdorojimo temperatūros diapazonas yra platus, o tam tikro storio nitridavimo sluoksnį galima gauti net žemesnėje nei 350 °C temperatūroje.

8) Pagerintos darbo sąlygos. Neteršiantis plazminis azotinimas atliekamas labai žemu slėgiu ir išskiriant labai mažai išmetamųjų dujų. Dujų šaltinis yra azotas, vandenilis ir amoniakas, todėl iš esmės nesusidaro jokių kenksmingų medžiagų.

9) Jis gali būti naudojamas visų rūšių medžiagoms, įskaitant nerūdijantį plieną, karščiui atsparų plieną su aukšta nitridavimo temperatūra, įrankių plieną ir tikslias detales su žema nitridavimo temperatūra, o žemos temperatūros nitridavimas yra gana sudėtingas dujų nitridavimui.