Darbo teorija：

Iš anksto pumpuojant krosnį į vakuumą ir tada kaitinant iki nustatytos temperatūros, pripūskite amoniako nitridavimo procesui, tada po kelių ciklų vėl pumpuokite ir pripūskite, kad būtų pasiektas norimas nitridų gylis.

Privalumai:

Palyginkite su tradiciniu dujų azotinimu. Dėl aktyvaus metalo paviršiaus vakuuminio kaitinimo, vakuuminis azotinimas pasižymi geresniu adsorbcijos pajėgumu, todėl proceso trukmė trumpesnė, kietumas didesnis.tikslusvaldymas, mažesnės dujų sąnaudos, tankesnis balto junginio sluoksnis.