Vakuuminis karbiuravimas skirtas ruošinio šildymui vakuume.Kai temperatūra pasieks aukštesnę nei kritinį tašką, jis tam tikrą laiką išliks, pašalins degazavimą ir pašalins oksido plėvelę, o tada pateks išgrynintas karbiuruojančias dujas karburizavimui ir difuzijai.Vakuuminio karbiuravimo temperatūra yra aukšta, iki 1030 ℃, o karbiuravimo greitis yra greitas.Karburizuotų dalių paviršiaus aktyvumas pagerinamas degazuojant ir deoksiduojant.Tolesnis difuzijos greitis yra per didelis.Karburizavimas ir difuzija atliekami pakartotinai ir pakaitomis, kol pasiekiama reikiama paviršiaus koncentracija ir gylis.
Galima valdyti vakuuminio karbiuravimo gylį ir paviršiaus koncentraciją;Jis gali pakeisti metalurgines metalinių dalių paviršiaus sluoksnio savybes, o efektyvus karbiuravimo gylis yra gilesnis nei tikrasis kitų metodų karbiuravimo gylis.